LIMO匀化片助您实现高精度光束成型

平顶、矩形、方形和线形 - LIMO 匀化片可生成多种光束形状,因而用途极广。LIMO 光束成型解决方案已成功用于生产基片和完整模块。


优势:

    ● 可处理各种场几何形状
    ● 均匀性达到技术极限 (<1% P-V)
    ● 高 NA、高填充因子和极化保持
    ● 光学效率高达 90%,有助于降低高昂的激光能量成本
    ● 采用优质材料制成,例如熔融石英、CaF2
    ● 适用于多种不同激光源(例如准分子激光器、固态激光器和半导体激光器)


应用:

我们的标准匀化片基片可单独或成对用于均匀激光照明。LIMO 的精密均质机可用于显微光刻技术中采用的曝光装置(步进器和扫描仪)。

其他应用示例:

    ● 烧蚀
    ● 退火
    ● 回火
    ● 半导体工业
    ● FPD(平板显示装置)
    ● PV(光伏)


均质机基片

图片1.png

EFL [mm]

间距 [mm]

尺寸 [mm²]

4.23 - 61.6

0.5

12x12

8.55 - 206.5

0.8

20x20

5.88 - 98.3

1.3

35x35


除了定制化均质机基片以外,LIMO 还提供单面结构的微透镜阵列。如需了解更多信息,请点击此处。



匀化片模块

我们提供定制化匀化片模块,以及包含扫描仪在内的整套光束成型系统——一切依您所需。

用于离轴照明的匀化片模块(光束成型器 180 x 180 mm²)

示例:配有 LIMO 匀化片模块的光致发光测量设备

图片2.png

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