半导体制造

用于半导体生产技术的光束成型

微光学解决方案已成为高性能半导体工业所使用的复杂照明系统中不可或缺的一部分。多年来,业界领先的半导体设备制造商纷纷受益于LIMO折射性微光学元件的诸多优势。我们与客户紧密合作,致力于提供全新的创新型解决方案或优化现有方法。

正因如此,LIMO的微光学解决方案才能帮助半导体行业的产品实现最佳精准度和分辨率。凭借此解决方案,LIMO为实现亚30nm结构的光学光刻生产做出了贡献。


LIMO解决方案的优势

●  适用于大角度的深透镜剖面(超 NA)
●  高均质性(大于 1%)
●  高效 (97%),得益于高填充系数和优化的光学表面
●  用匀化片补偿光束位移(光束稳定)
●  持续质检
●  金属化和焊接光学
●  使用寿命长
●  兼容洁净室
●  全套光学模块解决方案,易于使用(斜边和机械支架)和实施
●  大量高品质材料,如玻璃(熔融石英、S-TIH53、Bk7)、结晶体(CaF2、MgF2、YAG、LuAG)和半导体(Si、Ge、ZnSe)
●  单独切割,打造不同形状
●  采用自由曲面透镜面,实现宽光谱强度分布
●  微透镜阵列的每个单透镜都具有独特的剖面,从而实现特殊的定制化和优化解决方案
●  基于高重复率和再现率,实现晶元高精度制造工艺


产品和解决方案

●  微透镜阵列
●  匀化片和匀化模块
●  设计

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